半導(dǎo)體料盒的清洗辦法有哪些?其中超聲波清洗機(jī)的應(yīng)用與優(yōu)勢有哪些
586在半導(dǎo)體制造過程中,料盒(也稱為晶圓盒、載具盒)是用于存儲和運(yùn)輸晶圓的重要設(shè)備。由于半導(dǎo)體生產(chǎn)對環(huán)境潔凈度要求極高,料盒的清潔程度直接關(guān)系到晶圓的生產(chǎn)良率。什么是半導(dǎo)體料盒及其作用半導(dǎo)體料盒是一種專為...
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